Scan Lens, Interferometric Measuring Device Using Same

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

美國

專利申請案號

14/037,782

專利證號

US 9,441,945 B2

專利獲證名稱

Scan Lens, Interferometric Measuring Device Using Same

專利所屬機關 (申請機關)

國立臺灣大學

獲證日期

2016/09/13

技術說明

本發明有關於一種掃瞄透鏡及應用該掃描透鏡之干涉量測裝置，其中掃描透鏡包括一透鏡組、一反射單元及一分光器，且反射單元位於透鏡組及分光器之間。在使用具有掃描透鏡的干涉量測裝置進行量測時，光束會穿過透鏡組並投射在分光器上，其中穿透分光器的光束為第一光束，而被分光器所反射的光束則為第二光束。第一光束投射在一待測物上，而第二光束則投射在反射單元上，其中反射單元所反射的第二光束及待測物反射或散射的第一光束會形成干涉，藉此將可透過干涉量測裝置完成待測物的量測。 The present invention is relative to a scan lens and more particularly to an interferometric measurement device with the scan lens for measuring a test object.

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

產學合作總中心

連絡電話

33669945

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