光學照明裝置及其共焦顯微系統

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

108129027

專利證號

I 716071

專利獲證名稱

光學照明裝置及其共焦顯微系統

專利所屬機關 (申請機關)

國立臺灣大學

獲證日期

2021/01/11

技術說明

本發明提供光學照明裝置，包括有一光學模組以及一光調制單元。該光學模組，用以產生複數道具有一連續光譜之入射光。該光調制單元，具有複數個光調制元件，每一光調制元件用以接收具有不同入射角度之入射光，並將其調制形成具有一發散角度範圍的調制光，使該複數個反射元件之間所產生的光程差，不會影響到該連續光譜，使得調制光之光譜圖形接近於該連續光源的光譜圖形。藉由此特性，該光學照明裝置與共焦顯微系統結合，可以保持光譜完整性，進而可以提升表面形貌深度量測的準確度。 The present invention provides an optical illumination device comprising an optical module and an optical modulator. The optical module is utilized to generate a plurality of incident lights with a continuous spectrum. The optical modulator has a plurality of modulating elements, each of which is utilized to receive the incident lights having different incident angle and is utilized to modulate the incident lights to form a modulating light field having a specific divergent angle whereby the continuous spectrum will not be affected by an optical path difference between the adjacent modulating elements. In one embodiment, the optical illumination device is available to combine with the confocal microscopy system for reducing the spectrum lost and maintaining completeness of the spectrum thereby enhancing the accuracy of surface profile inspection.

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

產學合作總中心

連絡電話

33669945

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