微機電共振震盪子結構及其驅動方法MICROMECHANICAL RESONATOR OSCILLATOR STRUCTURE AND DRIVING METHOD THEREOF

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

美國

專利申請案號

13/615,609

專利證號

US 9,024,708 B2

專利獲證名稱

微機電共振震盪子結構及其驅動方法MICROMECHANICAL RESONATOR OSCILLATOR STRUCTURE AND DRIVING METHOD THEREOF

專利所屬機關 (申請機關)

國立清華大學

獲證日期

2015/05/05

技術說明

本發明係一種微機電共振震盪子結構及其驅動方法。隨著微機電共振震盪子結構之功率處理能力和有效剛性之間的線性關係，驅動電極位於一樑式共振震盪子的等效高剛性區域相比在等效低剛性區域可提供更穩定的訊號輸出。然後一個使用樑式微機電共振震盪子結構為中心之設計已成功地證明在頻率9.7 MHz 狀況下，等效高剛性區域驅動相較於等效低剛性區域驅動可提高功率處理能力和相位噪聲性能改善。 本發明之目的在於提供一種微機電共振震盪子結構及其驅動方法。藉由微機電共振震盪子之震盪單元內相異剛性的至少二等效區域產生迴路，可以得到不同的功率處理和相位噪聲性能，並且藉由震盪單元等效高剛性區域驅動，可以達到相較於震盪單元等效低剛性區域驅動更好之功率處理能力和更低之相位噪聲。 This invention provides a micromechanical resonator oscillator structure and driving method. As power handling ability of a resonator is proportional to its effective stiffness, a better power handling capability is obtained by driving a micromechanical resonator oscillator at its high effective stiffness area. One of the embodiments of this invention is demonstrated by using a beam resonator. A 9.7-MHZ beam resonator via the high-effective stiffness area driven method shows better power handling capability and having lower phase noise.

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

智財技轉組

連絡電話

03-5715131-62219

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