微透鏡陣列的製造方法及其微透鏡陣列FABRICATION METHOD OF MICROLENS ARRAY AND MICROLENS ARRAY THEREOF

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

美國

專利申請案號

13/681,798

專利證號

US 9,030,746 B2

專利獲證名稱

微透鏡陣列的製造方法及其微透鏡陣列FABRICATION METHOD OF MICROLENS ARRAY AND MICROLENS ARRAY THEREOF

專利所屬機關 (申請機關)

國立臺灣大學

獲證日期

2015/05/12

技術說明

自組式微透鏡陣列(self-assemble microlens array)，利用了紫外線臭氧清潔機將SU-8負型光阻表面改質，產生週期性排列的親水性區域，再利用表面張力將稀釋過後的SU-8光阻自行聚集在此親水性區域之中，進而形成球面的液態平凸透鏡，最後經由紫外光的固化後成了固體的微透鏡陣列。 相較於先前技術具有創新、進步或功效等獨特技術: 1. 製作過程溫度低 2. 不須曝光顯影製程 3. 製程簡單快速 4. 製作出的微透鏡陣列為光可穿透 Self-assembled microlens array was fabricated by hydrophilic effect using Ultraviolet (UV)/ozone modification on glass substrate. The modification on SU-8 photoresist produced periodic array of hydrophilic areas on the surface by the use of shadow mask. Afterwards, the substrate was dipped in and out of diluted SU-8 photoresist. Therefore, the liquid self-assembled MLA was formed. Finally, the solid MLA was cured by UV light.

備註

本會(收文號1120043775)同意該校112年7月7日校研發 字第1120058666號函申請終止維護專利(國立臺灣大學)

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

產學合作總中心

連絡電話

33669945

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