微機電射頻開關MICRO-ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS RF SWITCH

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

097100790

專利證號

I 348173

專利獲證名稱

微機電射頻開關MICRO-ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS RF SWITCH

專利所屬機關 (申請機關)

國立中興大學

獲證日期

2011/09/01

技術說明

一種微機電射頻開關，其包括：一基體、一懸浮金屬薄膜、一介電層、至少一固定部、複數彈簧、一共平面波導線、一 氧化層及至少一電感；該介電層係介於該基體與該懸浮金屬薄膜間，而每一彈簧之兩端係分別連結至該懸浮金屬薄膜及 該固定部， 當施加之電壓於該基體與該懸浮金屬薄膜間產生之靜電力大於該彈簧恢復力時，該懸浮金屬薄膜會 受到靜電力之影響而與該基體吸附。其兼具插入損失低、隔離度高、成本低及功率消耗低之優點及功效。 A Micro-Electro Mechanical Systems (MEMS) RF switch includes a base, a metal membrane, a dielectric layer, at least one securing portion, several springs, a coplanar waveguide (CPW), a dioxide layer and at least one inductor. This dielectric layer is disposed between the base and the metal membrane. One end of the spring is connected with the metal membrane. The other end is connected with the securing portion. When the static electricity force caused by certain voltage applied on is larger than the resilient force of the spring, the metal membrane will be down towards the base. This invention has the advantages and functions including low insertion loss, high isolation, low cost and low energy consumption, etc.

備註

本部(收文號1060063873)同意該校106年8月10日興產字1064300420號函申請終止維護專利

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