以單一動力源實現多個自由度旋轉之試件夾持裝置

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

097120526

專利證號

I 359874

專利獲證名稱

以單一動力源實現多個自由度旋轉之試件夾持裝置

專利所屬機關 (申請機關)

財團法人國家實驗研究院

獲證日期

2012/03/11

技術說明

本發明提供一種在做試件表面處理時，以單一動力源實現多個自由度旋轉的夾持裝置，其包含一固定架，用以固定該夾持裝置，包括一第一套筒，具有一第一傳動元件以及一第一穿孔；一第一軸，穿過該第一穿孔，具有一第二穿孔；一第二軸，固定於該第二穿孔且與該第一軸垂直，包括一第二套筒，包括一第二傳動元件，與該第一傳動元件嚙合；以及一第三傳動元件，設置於該第二傳動元件的另一端；一第三套筒，包括一第一平衡元件，與該第一傳動元件相鄰；以及一第二平衡元件，設置於該第一平衡元件的另一端；一第三軸，具有一第四傳動元件，該第四傳動元件具有一第一固定裝置；一第四軸，具有一第三平衡元件及一第二固定裝置；一第一聯結元件，用以聯結該第二軸與該第三軸，使該第三傳動元件與該第四傳動元件嚙合；以及一第二聯結元件，用以聯結該第二軸與該第四軸。 A mechanical device for transmitting a torque so as to generate a multi-degree-of-freedonrotation is provided. The mechanical device is used for clipping specimens during a vacuum sputtering process. The mechanical device includes an immovable frame, a first and a second shafts and a first and a second connecting elements. The immovable frame fastens the mechanical device, and includes a first hole and a first sleeve, which is disposed in the first hole and has a first transmission element.

備註

本部(收文號1060052140)同意該院106年7月25日國研授儀服院字第1060901102號函申請終止維護專利

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