一種複合薄膜之微氣體感測裝置A COMPOSITE THIN FILM MICRO GAS SENSOR.

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

098129763

專利證號

I 436056

專利獲證名稱

一種複合薄膜之微氣體感測裝置A COMPOSITE THIN FILM MICRO GAS SENSOR.

專利所屬機關 (申請機關)

國立中興大學

獲證日期

2014/05/01

技術說明

本發明是利用CMOS-MEMS技術來製作整合型氣體感測器，其感測薄膜是選用二氧化錫(SnO2)- 聚苯胺(Polyaniline)，複合薄膜在兩種不同材料的界面上，會具有hetero-junction之整流的特性，這也為異質接面的最大特色。此複合薄膜具有比單一薄膜要好的靈敏度以及縮短反應時間，並且利用化學合成與溶膠凝膠法來製作，可大幅的降低成本以及製作簡便。感測晶片感測區設計為電阻式，需經過後製程處理將電阻裸露出來，並將複合薄膜披覆在電阻上，當此複合薄膜暴露在一氧化碳中，感測器的電阻會產生變化，透過放大電路，將電阻變化轉換成電壓變化。

備註

本部(收文號1080029338)同意該校108年5月10日興產字第1084300302號函申請終止維護專利

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

技術授權中心

連絡電話

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