使用薄膜體聲波元件之光感測器

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

098127936

專利證號

I 403010

專利獲證名稱

使用薄膜體聲波元件之光感測器

專利所屬機關 (申請機關)

國立中山大學

獲證日期

2013/07/21

技術說明

本發明擬製作一高感測度之光感測器，利用透明導電薄膜，製作薄膜體聲波(Thin film bulk acoustic wave, TFBAW)元件，並將其應用於光感測。由於感測器之感測度與元件之操作頻率成正比，因此本發明利用操作頻率較高的薄膜體聲波元件製作光感測器，進而使得整體感測度增加。一般而言，將聲波元件應用於光感測器，皆採用表面聲波元件，而本發明利用透明導電薄膜結合操作頻率較高之薄膜體聲波元件，製作光感測器。由於感測器之感測度與元件之操作頻率成正比，因此本發明利用操作頻率較高的薄膜體聲波元件製作光感測器，進而使得整體感測度增加。

備註

本部(收文號1050019735)同意該校105年3月21日中產營字第1051400266號函申請終止維護專利

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

產學營運及推廣教育處

連絡電話

(07)525-2000#2651

網址