維持材料表面平整度的製作方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

098131398

專利證號

I 392774

專利獲證名稱

維持材料表面平整度的製作方法

專利所屬機關 (申請機關)

國立臺灣大學

獲證日期

2013/04/11

技術說明

我們發現了一個簡單且新穎的方式從氧化鋅膠態溶液在高溫退火之下能夠生長出又粗又直的氧化鋅奈米結構，並且使用液像的水熱法達到便宜且容易製作的目的。在氧化鋅種子層上鍍上一層金然後高溫退火，達到將此晶種層平坦化的效果，成功的發現一種新的長晶製程。 舉例來說：氧化鋅奈米結構在學術上與應用上有許多可能性，由於受限於長晶的技術，我們使用水熱法降低成本，由於氧化鋅奈米結構的生長方向、尺寸、長度都受限於種子層的表面型態以及特性，所以製作出一表面平整的種子層是最困難的部分。 氧化鋅奈米柱的尺寸控制可以用溶液濃度、種子層結晶面大小來達到尺寸大小的控制，其中種子層的結晶大小由退火的溫度來決定，溫度越高則結晶顆粒越大，生長出的氧化鋅奈米柱也越粗；反之，退火溫度低則結晶顆粒小，生長出的氧化鋅奈米柱也較細。另一方面利用種子層的高溫退火來控制尺寸的好處在於結晶性比利用溶液濃度來的好，然而，種子層在高溫退火之下的結晶顆粒很大，導致表面粗糙不平整，所生長出的氧化鋅奈米柱也就零亂不堪，因此我們想出一個辦法來提升在高溫退火下的種子層表面平整度。 我們在氧化鋅種子層上鍍上一層黃金後拿去高溫退火，利用此黃金薄膜的張力及附著的壓力抑制氧化鋅薄膜的結晶，並且使之表面平坦，之後去除表面的黃金，然後使用水熱法生長氧化鋅奈米柱，實驗發現以此方式生長出氧化鋅奈米柱的直徑、長度、垂直基板導向皆有大幅的提升，由此實驗結果我們可以有更多的可能性來應用此新方法來製作光電元件。

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

產學合作總中心

連絡電話

33669945

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