圓錐柱微結構陣列之製造方法及其成品

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

093129155

專利證號

I 262893

專利獲證名稱

圓錐柱微結構陣列之製造方法及其成品

專利所屬機關 (申請機關)

國立中興大學

獲證日期

2006/10/01

技術說明

本發明係有關一種圓錐柱微結構陣列之製造方法及其成品，其包括(1)預備步驟、(2)微影成型步驟、(3)導電層成型步 驟、(4)微模仁製作步驟、(5)翻製成品步驟。本發明應用近接式曝光法，控制光阻與光罩之間隙改變光的發散作用，並 搭配曝光劑量之改變，自動產生圓錐柱微結構陣列；由調整光阻與光罩之間隙及曝光劑量的控制，來改變圓錐柱微結構 之錐度，大約30度至85度的半圓錐角皆可製作；更可以變換不同光罩尺寸與光阻旋塗之厚度，改變圓錐柱微結構的大小 與高度；如此達到兼具可製作不同樣式的微透鏡陣列、製程穩定、生產設備成本低、生產出之導光板特性佳與圓錐柱微 結構陣列與精密配合元件之定位卡合容易之多重功效。

備註

本部(收文號1040089468)同意該校104年12月17日興產字1044300671號函申請終止維護專利

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