發明
中華民國
094123315
I 284630
應用積體電路相容微機電加工技術製作微抬升結構
明新學校財團法人明新科技大學
2007/08/01
本發明主要即應用積體電路相容微機電加工技術,利用二組列排對角異方向之微陣列式熱致動 器作為驅動元件,各組微陣列式熱致動器乃各接合一抬升臂,並在二抬升間共同樞接一牽制平 台,當二組微陣列式熱致動器在對角異方向作推動動作,將使該牽制平台,當二姐微陣列式熱致 動器在對角異方向作推動動作,將使該牽制平台作垂直方向之抬升,因此整體即形成一微抬升結 構產生垂直方向的偏移
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