適用於近場的結構分析系統及方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

100124440

專利證號

I 467164

專利獲證名稱

適用於近場的結構分析系統及方法

專利所屬機關 (申請機關)

國立中興大學

獲證日期

2015/01/01

技術說明

一種適用於近場的結構分析系統，包含一電磁波源、相關於一焦點平面及一反射係數函數的一反射鏡、一頻譜偵測器，及一處理模組。該電磁波源發射具有多個頻率成分的一電磁波到一待測物；該反射鏡反射從該電磁波源發射並通過該待測物且傳送到該反射鏡的電磁波，該反射係數函數的一函數值相關於該電磁波的一角頻率；該頻譜偵測器在一觀察平面上的一位置偵測反射的電磁波之頻譜以產生一近場頻譜資料，其中，該觀察平面係位於該焦點平面的位置；該處理模組根據該反射係數函數的該函數值及該近場頻譜資料，來計算與該待測物的結構相關的資訊。 Far field lattice spectroscopy has shown that the structure information for a lattice or periodic pattern can be obtained by measuring the diffracted spectrum of a broad-band light source at one spatial position. However, for realistic applications, this technique should be performed in a near field. In this work, we demonstrate that this target can be accomplished by utilizing a reflective confocal configuration. We also investigate the spectral resolution of the diffracted spectrum. By performing this technique from a far field to a near field, we show that this scheme makes substantial improvements in potential applications for the novel lattice spectroscopy.

備註

本部(文號1090000062)同意該校108年12月31日興產字第1084300814號函申請終止維護專利(中興)

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

技術授權中心

連絡電話

04-22851811

網址