發明
中華民國
094101457
I265437
應用通用型嵌入式裝置的預測保養系統
國立成功大學
2006/11/01
本發明提出一種適用於半導體與TFT-LCD廠生產製程設備的智慧型預測保養系統(IPMS),該系統使用一種通用型的嵌入式裝置(GED),可以很容易地將不同功能的預測保養模組嵌入到生產製程設備之中,以符合各種不同設備的預測保養需求。同時,該GED的設計完全符合ISMT Interface A 的規格,因此可以很容易地與半導體及TFT-LCD廠的生產資訊流程及平台進行整合。此外,本預測保養系統中的GED提供一個標準的可插入式應用介面(Pluggable Application Interface),該介面允許使用者快速地更換不同的預測保養模組,以滿足各種不同的客制化需求並達到即插即用的功能。
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