同時量測位移及傾角之干涉儀系統

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

100117204

專利證號

I 452262

專利獲證名稱

同時量測位移及傾角之干涉儀系統

專利所屬機關 (申請機關)

國立雲林科技大學

獲證日期

2014/09/11

技術說明

一種同時量測位移及傾角之干涉儀系統，包含一光源組、一干涉儀組、一視準儀及一訊號處理模組，該光源組設有一發射出非偏振光束的發射器，該干涉儀組設有一偏振分光鏡、一角隅稜鏡、兩一維位置靈敏感測器、一反射鏡板、兩波長延遲片及一偏振片，該視準儀接收該干涉儀組所產生的量測光束為光源且設有一鍍膜片、一二維位置靈敏感測器及一聚焦透鏡，該訊號處理模組接收兩一維位置靈敏感測器的訊號以及二維位置靈敏感測器的訊號，並分別以一訊號處理器進行訊號處理，可得到角隅稜鏡的位移以及傾角，提供一可同時量測位移及傾角之干涉儀系統者。 This invention is involved with an interferometer system utilized for simultaneous linear displacement and tilt angle measurement. Components of the system include a light source, an interferometric module, an autocollimator and a signal processing module. The light source emits a linear polarized laser beam. The interferometer module consists of a PBS, a corner cube reflector, two PSD, a mirror, a BS, two quarter wave plates and a polarizer. The light source of autocollimator is split from the measurement beam of the interferometer. A dual axis PSD and a focus lens are arranged in the autocollimator. The signal processing module acquires the signal from the interferometer and the autocollimator. And the signal will be dealt with the corresponding signal processing model. By this way, the displacement and the tilt angle of the corner cube reflector can be determined. A system for simultaneous measurement of linear displacement and tilt angle has been provided.

備註

本部(發文號1090014096)同意貴校109年3月5日雲科大研字第1090014096號函申請終止維護專利。

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

智財管理組

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