一種氣體偵測裝置及其方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

098115867

專利證號

I 427290

專利獲證名稱

一種氣體偵測裝置及其方法

專利所屬機關 (申請機關)

國立清華大學

獲證日期

2014/02/21

技術說明

本發明揭露一種氣體感測裝置及其方法，特別是一種能於低濃度環境下同時感測至少一種氣體，其包含一第一表面聲波元件(Surface Acoustic Wave Device, SAW device)，該元件具有一壓電基板、一對換能器及一外部電路，該對換能器係由一第ㄧ換能器及ㄧ第二換能器所組成，係分別形成於該壓電基板之兩端上，該第一換能器，於相對之該壓電基板上產生表面聲波，該外部電路係電性連接於該對換能器，及至少一第二表面聲波元件，該元件具有該第一表面聲波元件、一具有孔洞之感測薄膜，該薄膜兩侧係分別形成於該對換能器之上；以及一控制裝置，控制該裝置內一次僅有一該外部電路動作；其中當該薄膜吸附感測物時，該薄膜傳遞該表面聲波變化至該第二換能器，藉由該表面聲波變化量，對該待測物進行定量分析或定性之分析。

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

智財技轉組

連絡電話

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網址