銅化學機械研磨後清洗方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

091005

專利證號

184490

專利獲證名稱

銅化學機械研磨後清洗方法

專利所屬機關 (申請機關)

財團法人國家實驗研究院

獲證日期

2003/08/11

技術說明

一種銅化學機械研磨後清洗方法，此方法提供一基底，此基底具有經過化學機械研磨後之銅 金屬層。利用至少具有硝酸與苯基疊氧之混合容液對基底進行一磨光製程。然後，以至少具 有一界面活性劑與一非極性金屬離子螯合劑之清洗容液對基底進行刷洗與超音波震盪清洗製 程。其中，硝酸溶除銅金屬層表面之氧化物，同時以苯基疊氮與銅金屬形成疏水性銅-苯基 疊氧鈍化層以保護銅金屬層，介面活性劑係用來增加去除微粒子之效率，非極性金屬離子螯 合劑係用來降低金屬離子污染。因此，可有效的移除附著於基底上之研漿砥粒與金屬粒子。

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

國研院技術移轉中心

連絡電話

02-66300686

網址