利用Fabry-Perot干涉原理確認兩平面鏡平行度之量測方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

097120187

專利證號

I 366658

專利獲證名稱

利用Fabry-Perot干涉原理確認兩平面鏡平行度之量測方法

專利所屬機關 (申請機關)

國立雲林科技大學

獲證日期

2012/06/21

技術說明

一種利用Fabry-Perot干涉原理確認兩平面鏡平行度之量測方法，包含有(a)光機系統：一Fabry-Perot干涉儀器，含有一光源組、一干涉儀、一角度調整組及一光檢測器；(b)細銳度測量：待儀器架設後，經角度調整組使移動鏡相對固定鏡產生偏擺角度，經光檢測器紀錄及細銳度的計算，即可得到各偏擺角度之細銳度值；(c)校正測試：經細銳度測量後，可得細銳度最大值時，該移動鏡相對固定鏡之偏擺角度，此時將該移動鏡調整至該偏擺角度後，將其設定為基準點，使移動鏡經校正後可與固定鏡保持相平行，藉以提供一可大幅提高檢測準確度之確認兩平面鏡平行度之量測方法者。 By Fabry-Perot interferometric principle, a measurement method for parallelism verification of two plane mirrors is presented. The system includes (a)opto-mechanical system: the Fabry-Perot interferometer system with light source, interferometer, angle regulator and a photodetector. (b)Finesse measurement: finesse of interference fringes calculated by the intensity measurand of photodetector. (c)Correction test: the maximum finesse identified for absolute parallelism of two mirrors. By the measurement method, the parallelism of two plane mirrors can be verified with a high precision.

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

智財管理組

連絡電話

(05)5342601轉2521

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