發明
中華民國
108107503
I 667503
光波導結構及其製作方法
國立中山大學
2019/08/01
本發明提供一種光波導結構及其製作方法,其中光波導結構包含:一基板;一第一型半導體導電層,設置在該基板上;一第一侷限層,設置在該第一型半導體導電層上;一波導層,設置在該第一侷限層上,且該波導層包含一發光材料;一高分子填充層,設置在該第一侷限層上且相鄰於該波導層,其中該高分子填充層的黏滯係數小於52平方毫米/秒;一第二侷限層,設置在該波導層及該高分子填充層上;一包覆層,設置在該第二侷限層上;以及一第二型半導體導電層,設置在該包覆層上。 An optical waveguide structure and a manufacturing method thereof are provided. The optical waveguide structure includes: a substrate; a first-type semiconductor conductive layer disposed on the substrate; a first confining layer disposed on the first-type semiconductor conductive layer; a waveguide layer disposed on the first confining layer and including a luminescent material; a polymer filling layer disposed on the first confining layer and adjacent to the waveguide layer, wherein the viscosity of the polymer filling layer is less than 52 mm2/s; a second confining layer disposed on the waveguide layer and the polymer filling layer; a cladding layer disposed on the confining layer; and a second-type semiconductor conductive layer disposed on the cladding layer.
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