發明
中華民國
094123316
I 271508
可應用在例如干涉儀器上的微光學元件
明新學校財團法人明新科技大學
2007/01/21
以二側平行式抬升結構內之微陣列式熱致動器之致動驅動,可推使該微面鏡作垂直平抬或某種 角度之抬升,達到精密且定操控微面鏡作微型抬升動作之作用,而成為一微光學元件
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