發明
中華民國
096124325
I 415292
具有奈米條狀結構之發光元件及其製造方法
國立交通大學
2013/11/11
本發明之特點為製作奈米條狀結構於GaN上,不同於以往的利用半導體製程技術在磊晶完後,在表面製作出奈米結構, 而是利用圖案化藍寶石基板於磊晶過程中,直接在表面成長出奈米條列之奈米結構,可以藉此提高量子井之發光效率。 另外,於穿透式顯微鏡下的觀察可以看出來該奈米結構不具有典型存在於三族氮化物半導體之差排,此到為提高發光效 率之主要因素。由於半導體製程技術已經相當成熟,適合於大量製造,未來必可利用此一技術來提升發光二極體之發光 效率。
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