旋轉軸多自由度誤差量測系統及其方法「MULTI-DEGREE-OF-FREEDOM ERROR MEASUREMENT SYSTEM FOR ROTARY AXES AND METHOD THEREOF」

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

美國

專利申請案號

16/018,436

專利證號

US 11,148,245 B2

專利獲證名稱

旋轉軸多自由度誤差量測系統及其方法「MULTI-DEGREE-OF-FREEDOM ERROR MEASUREMENT SYSTEM FOR ROTARY AXES AND METHOD THEREOF」

專利所屬機關 (申請機關)

國立中正大學

獲證日期

2021/10/19

技術說明

本發明提供一種可同時量測多自由度之誤差量測系統及其方法，其藉由產生一第一光束、一第二光束與一第三光束，以讓旋轉軸上所設置之多面反射鏡與圓錐形透鏡(Axicons)分別接收該第一光束、該第二光束與該第三光束，因而產生反射光束與折射光束、第一出射光束與第二出射光束，藉此量測圓錐形透鏡因旋轉軸偏移或振動所導致之複數誤差，例如:X軸方向徑向誤差，Y軸方向徑向誤差，軸向誤差，對X軸傾斜誤差，對Y軸傾斜誤差，旋轉角度定位誤差。 The present invention provides a multi-degree-of-freedom error measurement system for rotary axes and the method thereof. By producing a first ray, a second ray, and a third ray, the multi-facet reflector and the axicon disposed on an average axis can receive the first, the second, and the third rays, respectively, for producing a reflective ray, a refractive ray, a first emitted ray, and a second emitted ray. Thereby, errors of the axicon in a plurality of degrees of freedom caused by shift or vibration of the average axis, such as the x-axis radial error, the y-axis radial error, the axial error, the x-axis tilt error, the tilt error for the y-axis, and the angular alignment error for rotation can be measured.

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

技術移轉授權中心

連絡電話

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