氫氣感測器及其製造方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

095129440

專利證號

I 311199

專利獲證名稱

氫氣感測器及其製造方法

專利所屬機關 (申請機關)

國立成功大學

獲證日期

2009/06/21

技術說明

本發明是在研製氮化鎵蕭特基二極體式氫氣感測器，元件結構是利用金屬有機化學氣相沈積法(MOCVD)成長於絕緣型藍寶石 (sapphire)基板上，包含厚度為2μm之未摻雜氮化鎵緩衝層以及厚度為5000Å濃度為2x1018 cm-3之氮化鎵主動層。

備註

本部(收文號1050019163)同意該校105年3月18日成大研總字第1054500179號函申請終止維護專利(

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