微球透鏡與其陣列之製造方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

094118667

專利證號

I 265317

專利獲證名稱

微球透鏡與其陣列之製造方法

專利所屬機關 (申請機關)

國立中興大學

獲證日期

2006/11/01

技術說明

本發明一種微球透鏡與其陣列之製造方法，主要是用鐵氟龍(PTFE)本身具疏水物理性質之特點，使熔融中之光阻微透鏡 接觸角增大成微球 透鏡，其步驟係在Si wafer 基板上塗佈(coating)一層鐵氟龍薄膜，並藉由一道黃光微影技術將光 阻製作成微圓柱結構，再以光阻熱熔法熔融成微球透鏡或微球透鏡陣列，據此，不僅可簡化製程步驟及降低生產設備與 材料成本，更可製造出高效能與高品質之微透鏡結構。

備註

本部(收文號1040089468)同意該校104年12月17日興產字1044300671號函申請終止維護專利

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