以鐵電材料製作的微感測結構及其製作方法Microsensor with ferroelectric material and method for fabricating the same

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

美國

專利申請案號

11/126,459

專利證號

US 7,413,912 B2

專利獲證名稱

以鐵電材料製作的微感測結構及其製作方法Microsensor with ferroelectric material and method for fabricating the same

專利所屬機關 (申請機關)

財團法人國家實驗研究院

獲證日期

2008/08/19

技術說明

本案係指一種利用具高溫度電阻係數(Temperature- Coefficient-Resistance, TCR)之鈦酸鍶鋇(BST)薄膜製作成微熱敏電阻式感測元件(micro-thermistor)之結構及其製作方法，係利用體型微機電加工技術將摻雜鉻(Cr)或錳(Mn)之鈦酸鍶鋇薄膜製作於主架構體(Main-Frame)上，並施以微波熱處理技術，將摻雜物置入(Drive-in)以提高其溫度電阻係數的效率。 A microsensor fabricated with a ferroelectric material and a fabrication method therefor are provided. The microsensor includes a support, an insulating layer on the support, a first electrode on the insulating layer, a ferroelectric layer having at least a metal on the insulating layer and the first electrode, and at least a second electrode on the ferroelectric layer.

備註

本部(收文號1060052140)同意該院106年7月25日國研授儀服院字第1060901102號函申請終止維護專利

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

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連絡電話

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