發明
美國
16/578,422
US 11,398,808
METHOD FOR GENERATING HIGH ORDER HARMONIC FREQUENCIES AND MEMS RESONATOR
國立清華大學
2022/07/26
本發明係提供一種產生高階諧振頻率的方法,其包含:提供一壓電共振膜;以及輸入一具特定單一頻率之訊號,驅動壓電共振膜於一非線性區域振盪產生複數個高階諧振頻率。藉此,得以簡易電性控制方法,產生所需之數量之高階諧振頻率。 A method for generating high order harmonic frequencies, the method includes: providing a piezoelectric resonance film; inputting a driving signal having a pre-determined single frequency tone to drive the piezoelectric resonance film, thereby generation a plurality of high order harmonic frequencies in a nonlinear regime of the piezoelectric resonance film. Therefore, the number of the high order harmonic frequencies can be controlled by a simple way.
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