微探針陣列結構

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

095120528

專利證號

I 328441

專利獲證名稱

微探針陣列結構

專利所屬機關 (申請機關)

國立交通大學

獲證日期

2010/08/11

技術說明

本發明之主要目的係在提供一種具自我固定功能之微探針陣列結構，可用於生理檢測系統中作為刺激源或感測電極，量測各種生理訊號，且不具有習知微探針陣列無法確實穩固於皮膚組織中之缺點。 本發明之又一目的係在提供一種微探針陣列之製造方法，其製作過程簡單易於實施，因此製作出之微探針陣列生產成本低可大量製造。 為了達到上述目的，本發明之微探針製造方法係於一基板上形成一圖案化阻擋層，以該阻擋層為罩幕，等向蝕刻出複數尖端部，再以非等向性蝕刻向下蝕刻出複數針柱，並控制蝕刻參數使針柱與針尖之連接處截面積大於針柱另一端之截面積，去除阻擋層以得出微探針結構，並於微探針結構上形成一導電層。因此以上述製造方法製作出之微探針陣列係包括一基板，上方具有複數微探針，其中每一微探針具有一尖端部、一針柱，針柱之頂端連接尖端部而底端連接基板，且頂端之截面積係大於底端之截面積，以及一導電層，覆蓋於尖端部及針柱上。 The present invention relates to a microprobe array structure and a method for manufacturing the same and, more particularly, to a microprobe array structure with self-stabilization capability for biopotential signals measurements, and a method for manufacturing the same. To achieve these and other advantages and in order to overcome the disadvantages of the conventional method in accordance with the purposes of the invention as embodied and broadly described herein, the present invention provides a microprobe array structure with self-stabilization capability. The microprobe array structure can be used as a stimulus or a sensing electrode in biopotential measurement systems to measure various biopotential signals. Moreover, the drawback that the conventional microprobe array cannot be firmly stabilized in the skin tissue can be overcome.

備註

本部(收文號1060016225)同意該校106年3月7日交大研產學字第1061002219號函申請終止維護專利

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