生產製程之虛擬量測系統之信心度的評估方法Method for evaluating reliance level of a virtual metrology system in product manufacturing

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

美國

專利申請案號

11/617,957

專利證號

US 7,593,912 B2

專利獲證名稱

生產製程之虛擬量測系統之信心度的評估方法Method for evaluating reliance level of a virtual metrology system in product manufacturing

專利所屬機關 (申請機關)

國立成功大學

獲證日期

2009/09/22

技術說明

本發明提出一個信心指標(Reliance Index, RI)的機制與方法，以便用來評估虛擬量測系統的信心度。該機制與方法藉由分析生產設備的製程參數資料，計算出一介於零與壹之間的信心值，以判斷虛擬量測系統預測結果是否可以被信賴。為此，本發明也提出一計算信心指標門檻（RI Threshold）的方法，若信心指標的值大於此門檻時，代表該虛擬量測之預測結果可以被信 賴；反之，則代表該預測結果的可信度較低，需要進一步的測驗。該機制與方法適用於如半導體與TFT-LCD廠之生產製程設備的虛擬量測系統。除上述信心指標外，本發明亦提出一製程參數相似度指標(Process Data Similarity Index, 簡稱SI)，該指標之定義為目前輸入之製程參數與預測模式用來訓練建模之所有參數的相似程度。此相似度指標將被採用來輔助信心指標之判斷。

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

企業關係與技轉中心

連絡電話

06-2360524

網址