動態實驗設計方法METHOD FOR DYNAMIC EXPERIMENTAL DESIGN

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

103127722

專利證號

I 519986

專利獲證名稱

動態實驗設計方法METHOD FOR DYNAMIC EXPERIMENTAL DESIGN

專利所屬機關 (申請機關)

國立清華大學

獲證日期

2016/02/01

技術說明

本發明揭露一種可應用於半導體製程之動態實驗設計方法。藉由在實驗設計之過程中，檢查實驗目標範圍是否有所更動，以重新建立實驗設計表並保留已完成實驗的因子水準，而可達到動態調整實驗因子之目的。本技術應用範圍包括所有因技術變化過快或因子限制過多而無法有效進行傳統實驗設計之高科技產業，如半導體產業等。本技術透過四個階段來動態執行條件式實驗設計，以因應實驗環境多變與因子限制眾多的高科技產業實驗設計問題：（一）問題定義、（二）實驗設計最佳化、（三）實驗進行與（四）分機析報告。 The present invention discloses a method for dynamic experimental design applying in the semiconductor manufacturing process. By processing the experimental design, the method can check whether the range of experimental target is modified or not. The method can reestablish an experimental design table and keeping completed experimental factors to achieve the purpose of dynamically adjusting the experimental factors when the range of experimental target is modified. The method of experimental design of the present invention can effectively apply in the high-tech industry.

備註

本部(收文號1110008609)同意該校111年2月15日清智財字第1119000986號函申請終止維護專利(國立清華大學)

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

智財技轉組

連絡電話

03-5715131-62219

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