灰階投影式光學裝置

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

093135574

專利證號

I 313792

專利獲證名稱

灰階投影式光學裝置

專利所屬機關 (申請機關)

財團法人國家實驗研究院

獲證日期

2009/08/21

技術說明

本發明係為一灰階投影式光學裝置，藉由影像繪圖裝置直接對光學投影裝置輸出所需之灰階 影像圖案，再利用光學元件裝置直接在基板上曝光，利用不同色階達到灰階光罩之特性，而 不須再利用電子束製造光罩，即可得到平面或立體之微結構圖形，可廣泛應用於製作平面與 立體之微結構領域中。

備註

本部(收文號1070025932)同意該院107年4月17日國研授米企院字第1070500524號函申請終止維護專利

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

國研院技術移轉中心

連絡電話

02-66300686

網址