氣體感測器及其製作方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

093140497

專利證號

I 278619

專利獲證名稱

氣體感測器及其製作方法

專利所屬機關 (申請機關)

國立中興大學

獲證日期

2007/04/11

技術說明

本發明提供一種氣體感測器，包含：一具有一第一表面及一相反於該第一表面的第二表面的基材、一形成於該基材之第 二表面且由一具有複數載子的半導體材料所製成的電阻結構、至少二連接該電阻結構的接觸電極，及一覆蓋該電阻結構 且由溶膠凝膠法所製得的氣體感測層。本發明亦提供一氣體感測器的製作方法，包含下列步驟：(1)提供一基材、(2)於 該基材提供一種由一具有複數載子的半導體材料所製成的電阻結構、(3)形成至少二連接該電阻結構的接觸電極，及(4) 以溶膠凝膠法提供一氣體感測層以覆蓋該電阻結構。

備註

本部(收文號1040089468)同意該校104年12月17日興產字1044300671號函申請終止維護專利

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