粒子束狀態改變之估測裝置及其方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

100140370

專利證號

I 441233

專利獲證名稱

粒子束狀態改變之估測裝置及其方法

專利所屬機關 (申請機關)

國立臺灣大學

獲證日期

2014/06/11

技術說明

在此提出以標準四象限偵測技術(Standard quadrant detection, SQD)方法以及直接最小平方法(direct least-squares, DLS)來偵測粒子束位置。模擬結果指出，估測的不確定性會隨著偵測到的粒子數目變大而降低，且無論偵測到的粒子數目多寡，DLS方法之結果都比SQD方法更好。 本發明揭露一種估測一或多道粒子束狀態改變之裝置，該裝置包含多個粒子感測器以及一估測單元，其中一或多道粒子束撞擊至一基板。粒子感測器偵測從該基板反彈之該一或多道粒子束，並對應產生一或多個感測器信號。估測單元根據該一或多個感測器信號執行一數值規劃方法，以估測該一或多道粒子束之狀態改變。透過這樣的排列和監測方法，該裝置可以估測粒子束之飄移。 Standard quadrant detection (SQD) method and direct least-squares (DLS) method are used to estimate the particle beam position from the array signals. Simulation results indicate that estimation uncertainty can be reduced significantly when the number of detected particles is large enough. Regardless the detected particle numbers, the DLS method outperforms the SQD one.

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

產學合作總中心

連絡電話

33669945

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