多工物件參數光學量測整合裝置與方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

102144609

專利證號

I 477736

專利獲證名稱

多工物件參數光學量測整合裝置與方法

專利所屬機關 (申請機關)

財團法人國家實驗研究院

獲證日期

2015/03/21

技術說明

本專利提出一種以Linnik干涉顯微儀為基礎架構，建構具有干涉儀與顯微儀之量測整合系統，利用光圈切換參考光與物光控制與校正量測系統功能．並取得待測物表面形貌、全對焦彩色與黑白影像與量測試片之膜厚尺寸量測。在干涉儀部分，搭配相移演算法和垂直掃描，找出干涉條紋的最大強度位置，重建待測物表面形貌，並利用光譜儀擷取零光程差面之光譜資訊做為膜厚尺寸分析之依據。在顯微儀部分，利用針孔取得焦平面影像，並利用垂直掃描和影像濾波方式，取得全對焦彩色與黑白影像，還原影像中失焦的資訊，亦同時利用物鏡軸向色散之現象，擷取量測試件表面與底面之光譜資訊，與零光程差面之光譜資訊比較與分析，可得知膜厚尺寸。整套系統對干涉條紋分析、影像處理與光譜資訊進行整合計算，以及透過光圈切換量測系統，並將量測系統模組化以及無更換光學元件之複雜度，進而整合量測功能及提升量測效率。首先，當光圈打開時，整套系統為干涉儀功能，利用垂直掃描方式量測表面形貌與零光程差面之光譜資訊；當光圈關閉時，利用垂直掃描與影像處理等技術，可得全對焦影像與量測試件之膜厚尺寸。整套系統為一套多功能自動化量測設備，具有快速與高解析度量測之優點。 The present invention relates to an optically measuring device, and particularly to an optically measuring device with multiplexing article parameters integrated, such as a surface topology, a full focal color image, a black and white image, and a layer thickness of an article measured.

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

國研院技術移轉中心

連絡電話

02-66300686

網址