一種非接觸式振動量測裝置

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

097109021

專利證號

I 372857

專利獲證名稱

一種非接觸式振動量測裝置

專利所屬機關 (申請機關)

國立虎尾科技大學

獲證日期

2012/09/21

技術說明

因此利用此方式需採用分段式檢驗，而且一次檢驗一種誤差，若要量測四米長的導軌將非常費時，因此本計畫將利用光學量測方式可以達到同時檢測線性滑軌行走時水平與垂直的行走誤差，利用此方法不再需要花崗岩標準規，除了採非接觸量測，並可同時在一次檢驗中獲得水平與垂直的行走誤差，減少量測時間。此外利用所開發之系統可以進一步測試線性滑軌滑塊在搖擺與滾動方向的誤差量。量測系統架構如圖四所示固定端將包含兩組微型干涉儀、兩個分光鏡與兩個四象限感測器，移動端將包含兩組角隅反射鏡。實際量測時，兩組角隅反射鏡將架設在滑塊上移動，藉由角隅反射鏡之變化將可以量測出移動時水平與垂直度誤差、搖擺度與滾動度誤差。 An automatic measurement instrument for linear guide ways is proposed. The proposed automatic measurement instrument integrates an 2-D optical measurement system, a precision granite table, a movable gantry stage, and a linear driver which can automatically measure the horizontal and vertical running straightness of linear guide ways. The 2-D optical measurement system comprises two laser beams, two corner cubes, and two quadrant detectors. The performance of the 2-D optical measurement system is verified by experimental results. The standard deviation of the 2-D optical measurement system is about 0.4 μm in the measurement range of 100 mm. The maximum measuring speed of the proposed automatic measurement instrument is 1 m/sec.

備註

本部(收文號1040046520)同意該校104年7月1日虎科大智財字第10434001300號函申請終止維護專利

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

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