發明
中華民國
109137045
I 752687
感測元件及其製作方法
國立清華大學
2022/01/11
一種感測元件包含一導電基板、一複合層,及一修飾層。該複合層設置在該導電基板上,包括多條隨機地交叉的奈米碳管,及多個任意附著於該等奈米碳管上的奈米金顆粒,該修飾層設置在該複合層上,包括多個部分附著在該等奈米碳管上的還原氧化石墨烯奈米網。此外,本發明還提供一種製作前述感測元件的方法。 This invention provides a sensor device, which comprises a conductive substrate, a composite layer, and a modified layer. The composite layer disposed on the conductive substrate, and includes a plurality of carbon nanotubes randomly crossing one another, and a plurality of gold nanoparticles attached to the carbon nanotubes. The modified layer, disposed on the composite layer, includes a plurality of reduced graphene oxide which partly covered on the carbon nanotubes. In addition, this invention also provides a method of fabricating the sensor device.
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