發明
中華民國
101122944
I 465282
用於偵測氣體中汙染物之裝置及方法
國立臺灣大學
2014/12/21
1.濃縮機制:硼氣體分子污染物(Boron Airborne Molecular Contaminants )濃縮機制建立 2.縮短偵測時間:硼酸與螢光劑結合成具有螢光的硼化合物,可達即時偵測 3.快速濃縮:在極乾淨的潔淨室,低濃度硼氣體分子會造成精密晶片或TFT-LCD或Dram或製藥等環境污染。本技術可急速濃縮萃取,提升偵測硼氣體分子濃度下限。 4. 縮短偵測時間:可在30分鐘內急速濃縮偵測硼氣體分子,取代現行需花24小時才能偵測的方法。 5.不會產生二次污染。 6.日後可轉化為即時感測器。 Set-up for Boron Airborne Molecular Contaminants concentrated. Rapid detection time of Boron compound in clean-room.
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