發明
中華民國
094100197
I289351
微透鏡之製造方法
遠東科技大學
2007/11/01
本發明係關於一種微透鏡之製造方法, 其方法係在半導體基底上覆設一層平坦層, 並於該平坦層上形成色彩濾鏡陣列, 且於該色彩濾鏡陣列上再覆設一層聚合物層, 並利用一具預設圖案之光罩予以曝光顯影, 而直接在聚合物層上成型微凸鏡, 該光罩上每一個圖案設置係自中而外設置由大而小之透光區域, 利用該透光區域曝光之強弱予以決定微透鏡之曲率大小, 俾以利於控制每一微透鏡之弧曲度者。本發明係關於一種微透鏡之製造方法, 尤指一在光罩上預設每一個微透鏡之圖案, 利用光阻曝光顯影予以產生微透鏡之製造方法者。
創造力中心
06-5979566-7912
版權所有 © 國家科學及技術委員會 National Science and Technology Council All Rights Reserved.
建議使用IE 11或以上版本瀏覽器,最佳瀏覽解析度為1024x768以上|政府網站資料開放宣告
主辦單位:國家科學及技術委員會 執行單位:台灣經濟研究院 網站維護:台灣經濟研究院