可攜無閥蠕動式微泵浦及其製法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

096102619

專利證號

I 311610

專利獲證名稱

可攜無閥蠕動式微泵浦及其製法

專利所屬機關 (申請機關)

國立中興大學

獲證日期

2009/07/01

技術說明

本發明係有關一種可攜無閥蠕動式微泵浦及其製法，其至少包括：一．預備步驟、二．微影成型步驟、三．翻模步驟、 四．微泵浦接合步驟以及五．完成步驟；藉此，以微機電技術之黃光微影製程，配合聚二甲基矽氧烷翻模技術與聚二甲 基矽氧烷結合技術， 快速製作具有微流道與致動腔體的微泵浦成品，搭配一可攜式驅動控制器，即可以循序控制的方式 控制複數組壓電致動片驅動致動腔體產生蠕動壓力，最後整合為可攜無閥蠕動式微泵浦，如此兼具光阻厚度可精確控 制、翻模技術減少製作時間及成本、具彈性之微泵浦結構應用範圍廣，以及控制部為簡單的可攜式結構等優點。 This invention relates to portable valve-less peristaltic micropumps and fabricating method for the same. It includes the steps of (1) preparing step; (2) photolithographic forming step; (3) molding step; (4) micropumps connecting step; and (5) complete step. By using the photolithography process and PDMS molding technique as well as the PDMS bonding method, the micro-channels and micro chambers can be made. Also, a portable drive controller is applied to control several actuators in proper sequence to achieve the pumping function. Finally, all parts can be integrated into a valve-less peristaltic micropump system. So, the thickness of its photo-resist layer can be precisely controlled. The molding process can reduce the fabricating time and cost significantly. Its application scope is wide. And, the controlling portion is simple and is portable.

備註

本部(收文號1050025911)同意該校105年4月12日興產字1054300245號函申請終止維護專利

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