新型
中華民國
109217544
M 618395
半導體裝置
國立中興大學
2021/10/21
一種半導體裝置,包含:基板;閘極堆疊,設置於該基板上方;及源極與汲極,鄰近設置於該閘極堆疊的兩側。該閘極堆疊包括:第一鐵電層;第一介電層,設置於該第一鐵電層上方;第二鐵電層,設置於該第一介電層上方;及第一導電層,設置於該第二鐵電層上方。所述半導體裝置可在不大幅增加裝置厚度的情況下,擴大記憶體視窗,提升裝置的效能。
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