橫躺半圓錐形光波導之製法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

095106474

專利證號

I 274920

專利獲證名稱

橫躺半圓錐形光波導之製法

專利所屬機關 (申請機關)

國立中興大學

獲證日期

2007/03/01

技術說明

本發明係有關一種橫躺半圓錐形光導波之製法，其包括：1.預備步驟2.光罩放置步驟3.微影成型步驟；本發明利用紫外 光以不同間距穿過兩個不同高度之第一、第二梯形曝光孔後，照射一光阻層，配合繞射現象使此光阻層曝光產生出至少 一個橫躺半圓錐形光導波；如此兼具製程穩定、控制尺寸相當準確、生產設備低成本，以及可射出製造等優點。

備註

本部(收文號1040089468)同意該校104年12月17日興產字1044300671號函申請終止維護專利

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