具有模具變形檢測器之奈米壓印系統與監測方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

092133432

專利證號

I 226934

專利獲證名稱

具有模具變形檢測器之奈米壓印系統與監測方法

專利所屬機關 (申請機關)

國立清華大學

獲證日期

2005/01/21

技術說明

本發明提供一種即時監測奈米壓印微影技術之模具形變的方法，其中該方法使用一資料庫，用以記錄暫時性資料，同時利用在該壓印微影技術之模具上製作監測記號，並在該壓印微影技術之模具的周圍設置發射源與監測裝置，以進行下列步驟：(A)在奈米壓印所使用的模具本體之較易觀測的位置，製作監測模具變形所需之記號；（B）裝設發射源與監測裝置，以偵測模具之監測記號的變形量；（C）將上述偵測之變形量，轉換為輸出信號輸入至個人電腦處理，而個人電腦處理之暫時性資料則藉由資料庫加以記錄；（D）憑藉步驟（C）個人電腦處理之信號，發出控制訊號，以控制模具是否停止或令機台發出警報訊號。

備註

本部(收文號1050027638)同意該校105年4月21日清智財字第1059002057號函申請終止維護專利

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

智財技轉組

連絡電話

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