水平及旋轉掃描曲面臥式原子力顯微鏡

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

097142606

專利證號

I 416110

專利獲證名稱

水平及旋轉掃描曲面臥式原子力顯微鏡

專利所屬機關 (申請機關)

中原大學

獲證日期

2013/11/21

技術說明

本發明用來水平及旋轉掃描曲面，量測曲面表面上的奈米結構，本發明的組成包括微懸臂及探針之力敏感元件，量測用的壓電電阻檢測裝置，水平掃描用的空氣靜壓導螺桿傳動裝置，垂直進給用的空氣靜壓導螺桿傳動裝置，曲面輪廓補償控制計算模組，空氣靜壓軸承及導軌，空氣靜壓旋轉掃描用的主軸，熱飄移補償系統，圖像收集顯示處理系統以及振動隔離裝置，水平掃描以及垂直進給伺服壓電致動器模組，當掃描或進給大距離時，使用導螺桿傳動，最終精確定位時，使用壓電致動器，伺服控制旋轉主軸定位量測曲面的圓周角位置，水平掃描伺服控制定位曲面的軸向位置，進給伺服控制定位曲面與探針之正確距離，掃描得到的表面特徵由壓電電阻檢測，經過熱飄移補償系統計算環境溫度變化造成的熱變形量，補償在伺服控制定位量，以控制迴轉及水平掃描精度以及進給精度，振動隔離系統防止測量區的相對位移造成測量誤差。曲面輪廓補償計算得到曲面表面的奈米結構特徵資訊。

備註

本部(收文號1050051935)同意該校105年7月20日原產字第1050002202號函終止維護專利20件(中原)

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

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連絡電話

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