發明
中華民國
102109507
I 531059
半導體結構Semiconductor Structure
財團法人國家實驗研究院
2016/04/21
此專利為一半導體結構,此半導體結構包含一基材、至少一第一N型鍺結構和至少一第一P型鍺結構。第一N型鍺結構形成於基材之上並且包含兩末端結構和一至少在兩末端結構間並且和兩末端結構鍵結之第一中央結構。第一中央結構懸浮於基材之上,其邊表面為{111}的鍺晶格面。而第一P型鍺結構形成於基材之上並且包含兩末端結構和至少一在兩末端結構間和兩末端結構鍵結之第二中央結構。第二中央結構其邊表面為{110}的鍺晶格面。 A semiconductor structure is provided. The semiconductor structure includes a substrate, at least a first N-type germanium (Ge) structure and at least a first P-type Ge structure. The first N-type Ge structure is formed on the substrate and has two end parts and at least a first central part bonded between the two end parts thereof. The first central part is floated over the substrate, and a side surface of the first central part is a {111} Ge crystallographic surface. The first P-type Ge structure is formed on the substrate and has two end part and at least a second central part bonded between the two end parts thereof. The side surface of the second central part is a {110} Ge crystallographic surface.
本部(收文號1080079312)同意該院108年12月11日國研授半導體企院字第1081301803號通報專利終止維護案。
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