System for measurement of the height, angle and their variations of the surface of an object

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

美國

專利申請案號

11/443,027

專利證號

US7247827B1

專利獲證名稱

System for measurement of the height, angle and their variations of the surface of an object

專利所屬機關 (申請機關)

中央研究院

獲證日期

2007/07/24

技術說明

本創新量測機制之光路架構可同時針對物體位置平移與兩軸角度偏折變化作非接觸式 之精密量測， 可應用至原子力顯微鏡(Atomic Force Microscope)、奈米測距、奈米定位系統、超精 密定位回饋 訊號偵測、大面積樣品形貌之奈米級檢測。

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

智財技轉處

連絡電話

02-2787-2508

網址