發明
中華民國
103107982
I 500916
黏度感測系統、黏度感測方法以及電晶體式黏度感測器
國立清華大學
2015/09/21
一種黏度感測系統包括電晶體式黏度感測器、電性量測單元以及判斷單元。所述電晶體式黏度感測器包括半導體結構、源極以及汲極。半導體結構包括氮化鎵層以及設置於氮化鎵層上的鋁氮化鎵層,源極以及汲極與鋁氮化鎵層歐姆接觸。位於源極與汲極之間的半導體結構具有一閘極區域,閘極區域具有裸露的表面,用以接觸待測流體。電性量測單元電性連接至源極以及汲極,並用以量測半導體結構的電性訊號。判斷單元耦接於電性量測單元,並判斷單元用以根據電性量測單元所量測得的電性訊號判斷待測流體之黏度。 VISCOSITY SENSING SYSTEM, VISCOSITY SENSING METHOD AND TRANSISTOR TYPE VISCOSITY SENSOR
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