發明
中華民國
098133131
I 421215
二氧化鈦凝膠及其應用方法
國立成功大學
2014/01/01
本發明為一種二氧化碳雷射改質製造寬吸收帶二氧化鈦薄膜之方法,主要使用溶膠方式製備二氧化鈦薄膜並使用二氧化碳雷射為加熱源進行材料退火,獲得寬吸收帶二氧化鈦薄膜光學特性。本發明雷射退火的二氧化鈦薄膜具寬波帶光譜吸收特性,其光譜波長與強度皆較目前所知相關研究更寬廣和增強,有別於傳統爐退火於物理氣相沉積或化學氣相沉積製作出窄吸收帶的二氧化鈦薄膜,且控制溶液莫爾比例即可控制其相變化於金紅石與銳鈦礦相之轉變。此法的新整合製程開發的寬吸收帶二氧化鈦薄膜,具有低成本、室溫鍍膜、可大面積製作與增加太陽光的吸收波帶範圍的優點。 This patent claims a fabrication of the broad-absorption-band titanium dioxide film using CO2 laser annealing and sol-gel coating techniques. The broad-absorption-band titanium dioxide films in this invention have wider absorption wavelength and higher absorption intensity compared with conventional titanium dioxide films by means of PECVD or CVD methods. This patent also claims the controllable titanium dioxide phases between Rutile, Anatase and mixed ones using adjusting the solution reactant ratio. The novel fabrication method of the broad-absorption-band titanium dioxide film using CO2 laser annealing and sol-gel coating offers the advantages of low-cost, room temperature coating, large-area processing and increasing absorption property for potential solar application in future.
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