發明
中華民國
093109331
I235237
生物感測器、其感測元件之製法、及包括其之量測系統
國立雲林科技大學
2005/07/01
本發明係有關一種生物感測器、其感測元件之製法、及包括其之量測系統。 上述生物感測器係一延伸式閘極場效電晶體結構,包括:一金氧半場效電晶 體, 位於一半導體基底上;一感測元件,其包括一基板,一二氧化矽薄膜位於該基 板上, 一二氧化錫薄膜位於該二氧化矽薄膜上,及一尿素?薄膜固定於該二氧化錫薄膜 上; 及一導線,連接該金氧半場效電晶體與該感測元件。
智財管理組
(05)5342601轉2521
版權所有 © 國家科學及技術委員會 National Science and Technology Council All Rights Reserved.
建議使用IE 11或以上版本瀏覽器,最佳瀏覽解析度為1024x768以上|政府網站資料開放宣告
主辦單位:國家科學及技術委員會 執行單位:台灣經濟研究院 網站維護:台灣經濟研究院