生產製程之品質預測系統與方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

093115993

專利證號

I267012

專利獲證名稱

生產製程之品質預測系統與方法

專利所屬機關 (申請機關)

國立成功大學

獲證日期

2006/11/21

技術說明

本發明提出一品質預測架構來預測半導體與TFT-LCD廠設備生產過程中 的產品品質。該架構利用生產設備正在加工過程中的製程參數，加上 最近數次的產品實際檢測值，預測出未來一段時間即將生產的產品品 質。本品質預測架構是由推估模式與預測模式兩個部分所組成，其中 推估模式本身即可當作虛擬量測來使用。基於此種雙層式架構，使得 本品質預測架構能在實際的應用上更有彈性。本架構中之推估模式內 所使用的演算法具有可替換性，可以根據實際生產設備的物理與參數 特性，選擇各式人工智慧、統計學方法或是數學演算法等。至於預測 模式內所使用的演算法則可能為權重移動平均、類神經網路或其他具 預測能力之演算法。除此之外，本架構還包含了一個自我搜尋機制與 一個自我調適機制。當新的推估演算法或預測演算法剛選定時，自我 搜尋機制就會啟動，去挑選出一組該演算法所須之最佳參數與函數的 組合，使其預測準確度最高。此時推估模式或預測模式就可進入正常 運算狀態。在運轉一段時間後，如推估/預測準確度降低到所設定的準 確度下限時，或因定期檢修與更換零件等而導致機台特性改變時，自 我調適機制就會啟動，以修正並且滿足新的設備特性及推估/預測準確 度要求。

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

企業關係與技轉中心

連絡電話

06-2360524

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