發明
美國
12/772,370
US 8,526,007 B2
位移量測裝置及其量測方法APPARATUS AND METHOD FOR MEASURING DISPLACEMENT
國立中央大學
2013/09/03
本發明係一種結合波長調制外差光源、散斑干涉儀及相位解調技術之位移量測裝置。本發明包括ㄧ波長調制光源模組、散斑干涉儀模組與一項位解調技術。首先由一波長時變的光束,經過分光裝置後產生兩道具有光程差的光線,這兩道光線即組成外差光源。該光源入射散斑干涉儀模組之表面而產生一散射光。當表面有位移時,位移資訊將載入至散射光中散斑的相位中。將散射光的散斑信號,配合所提出的解相位技術,即可取出散斑信號的相位,進而計算得到平面的位移。
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