發明
中華民國
094111075
I 281267
光檢測器及其製造方法
國立成功大學
2007/05/11
短波段之藍光與紫外光檢測器是很重要的元件,由於他們可以使用在各式各樣商業上與 軍事上的應用,例如,這些藍光至紫外光檢測器可以使用在太空通訊、臭氧層監控與火 光偵測,現在,光偵測在藍光至紫外光區域仍然使用矽材料光二極體,然而, 矽光二 極體之最靈敏波長並不是落在藍光至紫外光區域,主要是由於矽之能隙在室溫下僅僅只 有1.2eV,因此,矽光二極體之響應在藍光至紫外光區域是低的,隨著光電元件以寬直 接能隙材料來製作的出現,產生高效能固態光檢測器陣列感測在藍光至紫外光區域將變 成一件可能的事,例如,GaN系列光檢測器在商業上已經是可以應用的,ZnSe則是另外 一種寬直接能隙材料感測在藍光至紫外光區域。
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