微型感測器及其製法與使用該微型感測器之感測裝置

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

092123157

專利證號

I 221900

專利獲證名稱

微型感測器及其製法與使用該微型感測器之感測裝置

專利所屬機關 (申請機關)

國立成功大學

獲證日期

2004/10/11

技術說明

本發明之主要目的係提供一種具有整合型溫度補償功能之溼度感測 器，至少包含一微型溼度感測器，係量測電容變化值以轉換為溼度 值；一微型溫度感測器，係量測電阻變化值以轉化為溫度值；一量測 電路晶片，係計算前述量測之電容及電阻值以得出在該溫度下之相對 溼度值。 This invention presents a novel technique for the fabrication of a micro humidity sensor with integrated temperature sensors for signal drift compensation. It at least includes a micro humidity sensor to transduce capacitance change values to humidity values, a micro temperature sensor to transduce resistance values to temperature values, and a measurement circuit chip to calculate measured capacitance and resistance values to relative humidity values at the temperature.

備註

本部(收文號1030032705)同意該校103年5月7日1034500281號函申請終止維護專利

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

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連絡電話

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